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      單晶硅棒

      單晶硅棒

      單晶硅是具有基本完整的點陣結構的晶體。不同的方向具有不同的性質,是一種良好的半導材料。單晶硅棒是在工業生產中使用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。其主要指標有少子壽命,氧含量等等。單晶硅棒是生產單晶硅片的原材料。

      技術參數

      項目技術參數
      邊長166mm±0.25mm   /     182.2mm±0.25mm166mm±0.25mm   /     182.2mm±0.25mm
      直徑223mm±0.25mm   /     247mm±0.25mm   223mm±0.25mm   /   247mm±0.25mm   
      垂直度90℃±0.290℃±0.2
      晶向<100>±3°<100>±3°
      粗糙度Ra≤0.3umRa≤0.3um
      斜面≤1mm≤1mm
      電阻率0.4-1.6Ω·cm0.4-1.1Ω·cm
      少子壽命≥800μs(BCT-400)70μs(BCT-400)
      氧含量≤6.0 X1017atoms/cm3≤6.0 X1017atoms/cm3
      碳含量≤0.5 X1017atoms/cm3≤0.5 X1017atoms/cm3
      生長方法CZ 直拉法CZ 直拉法
      導電型號/摻雜劑N/摻磷P/摻稼


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